Uporaba konfokalnih mikroskopov v industriji polprevodnikov
V procesu -proizvodnje polprevodnikov v velikem obsegu je treba čipe integriranega vezja položiti na rezino, jih nato razdeliti na različne enote in jih na koncu zapakirati in spajkati. Zato je natančen nadzor in merjenje velikosti utorov za rezanje rezin ključen člen v proizvodnem procesu.
Konfokalni mikroskop serije VT6000 je oprema za mikroskopsko pregledovanje, ki jo je lansiral Zhongtu Instrument in se pogosto uporablja v proizvodnji polprevodnikov in postopkih pakiranja. Izvaja lahko brez{2}}kontaktno skeniranje in rekonstruira-tridimenzionalno morfologijo površinskih značilnosti s kompleksnimi oblikami in strmimi utori laserskega rezanja.
Konfokalni mikroskop serije VT6000 ima odlično optično ločljivost in lahko podrobno opazuje značilnosti površine rezin s sistemom jasnega slikanja, kot je opazovanje, ali obstajajo napake, kot so lomljenje robov in praske na površini rezin. Električni stolp lahko samodejno preklaplja med različnimi povečavami objektiva, programska oprema pa samodejno zajame robove funkcij za hitro dvo-dimenzionalno merjenje velikosti, s čimer učinkoviteje zazna in nadzoruje kakovost površine rezin.
V procesu laserskega rezanja rezin je potrebno natančno pozicioniranje, da se zagotovi, da se lahko utori izrežejo vzdolž pravilne konture na rezini. Kakovost segmentacije rezin se običajno meri z globino in širino rezalnih utorov. Konfokalni mikroskop serije VT6000, ki temelji na konfokalni tehnologiji in je opremljen z visoko-moduli za skeniranje, ima programsko opremo za profesionalno analizo z več območji in funkcijami samodejnega merjenja. Hitro lahko rekonstruira tri-dimenzionalni obris laserskega utora testirane rezine in izvede večprofilno analizo za pridobitev informacij o globini in širini kanala prečnega-prereza.
