Hitri pregled polprevodnikov z uporabo različnih metod opazovanja mikroskopa
Polprevodniški pregled jedkanih rezin in integriranih vezij (ICS) med proizvodnim postopkom je ključnega pomena za prepoznavanje in zmanjšanje napak. Da bi izboljšali učinkovitost nadzora kakovosti v zgodnji fazi proizvodnje in zagotovili zanesljivo delovanje integriranih čipov vezja, je treba rešitve mikroskopa kombinirati z različnimi metodami opazovanja, da se zagotovi popolne in natančne informacije o različnih napakah. Tu vnesene metode opazovanja vključujejo svetlo polje, temno polje, polarizacijsko DIC, ultravijolično, poševno osvetlitev in infrardeče. Vgrajeni so v mikroskope za odkrivanje in razvoj rezin in integriranih vezij.
Kako ima industrija proizvodnje polprevodnikov koristi od mikroskopov
Mikroskopske rešitve igrajo pomembno vlogo pri učinkovitem in zanesljivem odkrivanju, nadzoru kakovosti (QC), analizi napak (FA) ter raziskavah in razvoju (raziskav in razvoju) v industriji polprevodnikov.
V procesu izdelave polprevodnikov se lahko pojavijo različne vrste napak pri različnih korakih, kar lahko vpliva na normalno delovanje opreme. Prej ko se odkrijejo te napake, tem bolje. Te napake lahko povzročijo naključno porazdeljeni prašni delci na rezini (naključne okvare) ali praske, ločevanje in ostanki premazov in fotoresist, ki jih povzročajo pogoji obdelave (na primer med jedkanjem) in se lahko pojavijo na določenih območjih rezine. Zaradi majhnosti so mikroskopi najprimernejše orodje za prepoznavanje takšnih napak.
Zlasti v primerjavi s počasnejšimi in dražjimi mikroskopi, kot so elektronski mikroskopi (EM), imajo optični mikroskopi (OM) številne prednosti. Zaradi svoje vsestranskosti in enostavnosti uporabe se optični mikroskopi običajno uporabljajo za kvalitativne in kvantitativne študije napak na golih rezinih in jedkanih/predelanih rezinah, pa tudi v postopkih sestavljanja in embalaže integriranih vezij (ICS).
Različne metode opazovanja optične mikroskopije, kot so svetlo polje (BF), temno polje (DF), diferencialni kontrast motenj (DIC), polarizacija (pol), ultravijolična (UV), poševna osvetlitev in infrardeča (IR), ki se prenašajo [{0}}], so hitri in natančni deklicini.
