Ime in funkcija vsakega dela konfokalnega mikroskopa
Konfokalni mikroskop, ki temelji na principu konfokalne tehnologije, se uporablja za merjenje površine različnih natančnih naprav in materialov na mikro in nano ravni ter lahko neposredno slika površinsko morfologijo vzorcev materiala s stransko ločljivostjo do 1 nm. in ločljivost osi Z do 0,5 nm. Ne more samo izmeriti površinske morfologije vzorca in zagotoviti funkcijo karakterizacije mikroskopske morfologije merjenja velikosti profila, temveč tudi pet glavnih analitičnih funkcij, kot so analiza hrapavosti, geometrijska analiza profila, strukturna analiza, frekvenčna analiza in funkcionalna analiza. analizo. Na voljo so tudi analiza hrapavosti, analiza geometrijskega profila, strukturna analiza, frekvenčna analiza in funkcionalna analiza.
Analiza hrapavosti vključuje analizo polnih parametrov glede na hrapavost črte ISO4287, hrapavost površine ISO25178, ravnost ISO12781 itd.; geometrijska konturna analiza vključuje meritve višine stopnice, razdalje, kota, ukrivljenosti in drugih značilnosti ter oceno ravnosti, okroglosti in tolerance oblike; strukturna analiza vključuje prostornino lukenj in globino korita itd.; frekvenčna analiza vključuje smer zrna in spektralno analizo; funkcionalna analiza vključuje analizo smeri in frekvenčnega spektra; frekvenčna analiza vključuje analizo smeri in frekvenčnega spektra; na voljo pa je tudi funkcionalna analiza. Frekvenčna analiza vključuje analizo smeri teksture in spektra; Funkcionalna analiza vključuje parametre SK in volumske parametre.
Strukturo konfokalnega mikroskopa v glavnem sestavljajo: mikroskop, vir laserske svetlobe, naprava za skeniranje, detektor, računalniški sistem (vključno z zbiranjem podatkov, obdelavo, pretvorbo, aplikacijsko programsko opremo), naprava za izhod slike, optična naprava in konfokalni sistem.
V keramiki, kovinah, polprevodnikih, čipih in drugih znanostih o materialih ter na področju nadzora proizvodnje ima konfokalni mikroskop široko paleto aplikacij. Konfokalni mikroskop, ki temelji na principu konfokalne mikroskopije, brezkontaktnega skeniranja površine naprave in vzpostavitve površinske 3D slike, prek sistemske programske opreme na obdelavi in analizi podatkov 3D slike površine naprave, tako da dobimo 2D, 3D parametre, ki odražajo kakovost površine naprave, da se doseže 3D meritev morfologije površine naprave.
Lahko se pogosto uporablja pri proizvodnji polprevodnikov in pregledu procesa pakiranja, elektronskem steklenem zaslonu 3C in njegovih natančnih delih, optični obdelavi, proizvodnji mikro-nanomaterialov, avtomobilskih delih, napravah MEMS in drugi ultra-natančni obdelovalni industriji in vesolju, znanstveno-raziskovalnih inštitutih in druga področja. Izmerite in analizirajte površinski profil, površinske napake, obrabo, korozijo, ravnost, hrapavost, valovitost, razmah por, višino koraka, upogibno deformacijo, obdelavo in druge značilnosti površine različnih izdelkov, sestavnih delov in materialnih površin.
