Kateri so dejavniki, ki vplivajo na ločljivost transmisijskega elektronskega mikroskopa?
A. Premer točke vpadnega elektronskega žarka: meja ločljivosti SEM. Na splošno se lahko najmanjši premer točke elektronske pištole z vročo katodo zmanjša na 6 nm, elektronska pištola z emisijo polja pa lahko zmanjša premer točke manj kot 3 nm.
B. Ekspanzijski učinek vpadnega elektronskega žarka v vzorcu: stopnja difuzije je odvisna od energije vpadnega elektronskega žarka in atomskega števila vzorca. Večja kot je energija vpadnega žarka in nižje atomsko število vzorca, večja kot je prostornina elektronskega žarka, večja je površina signala, ki nastane z difuzijo elektronskega žarka, s čimer se zmanjša ločljivost.
C. Metoda slikanja in uporabljeni modulacijski signal: ko je sekundarni elektronski modulacijski signal zaradi nizke energije (manj kot 50 eV) povprečno prosto območje kratko (10 ~ 100 nm ali tako), samo v površinski plasti globinsko območje 50 ~ 100 nm sekundarnih elektronov lahko pobegne s površine vzorca, pojav števila sipanja je zelo omejen, v bistvu se ni razširil bočno, zato je ločljivost slike sekundarnih elektronov približno enaka žarku premer mesta. Ko se povratno sipani elektroni uporabijo kot modulacijski signal, lahko povratno sipani elektroni pobegnejo iz globljega območja vzorca (približno 30 % efektivne globine) zaradi svoje visoke energije in sposobnosti prodora. V tem globinskem območju so bili vpadni elektroni precej široko bočno raztegnjeni, zato je ločljivost slike povratno sipanih elektronov nižja od slike sekundarnih elektronov, običajno pri 500 ~ 2000nm ali tako. Če je absorpcija elektronov, rentgenskih žarkov, katodoluminiscenca, prevodnost zaznavanja žarka ali potencial kot modulacijski signal drugih načinov delovanja, zaradi signala iz celotnega območja sipanja elektronskega žarka, posledična skenirana slika ločljivosti relativno nizka, na splošno v l,000 nm ali l,000 nm ali več kot se razlikujejo.
