Načelo zaznavanja mikrointerference površinske mikrotopografije in status razvoja interferenčnega mikroskopa
(1) Spremembe v obsegu uporabe Najzgodnejše povpraševanje po odkrivanju površinske mikroskopske topografije se kaže v skrbnem nadzoru mazanja, trenja in obrabe v strojni industriji. S hitrim razvojem številnih mejnih disciplin se je obseg tega povpraševanja razširil na rentgensko optiko, informacijsko industrijo optičnih diskov, mikroelektroniko, visokohitrostno lasersko fiziko in mnoga druga področja;
(2) Preden se je sestava instrumenta spremenila, je tester površinske mikromorfologije uporabljal tipalo, ki je bilo mehanskega in električnega tipa; Ker so bile na mnogih področjih postavljene zahteve po visokonatančnem neporušitvenem testiranju, so bile uvedene nove naprave in nova načela. Instrument je optični in mehanski, električni, računski kombinirani tip;
(3) Stalno pojavljanje novih načel se kaže predvsem v:
Pojav novih oblik interferometrov pomeni razvoj od dobro znanih oblik Fizeau, Linnik in Michelson do novega tipa Mirau. Ta vrsta interferometra ima kompaktno zgradbo in dobro zaščito pred motnjami. Je glavna oblika interferometra, ki je primerna za nov preskusni princip VSI in FDA. Avtor meni, da je treba pri razvoju mikroskopa Mirau upoštevati naslednji dve točki: (1) Da bi zagotovili določeno delovno razdaljo, mora biti posebej oblikovan; (2) Debelina razdelilnika žarka, kompenzacijske plošče in standardne plošče ne sme biti velika, na splošno μm ali manjša od μm. Zato so zahteve za izbiro materiala in prevleke visoke. Obstajajo še druge oblike Dysona in Normarskega s skupno optično potjo. V primerjavi z drugimi oblikami, kot sta Dyson in Normarski, je interferenčni mikroskop z deljeno optično potjo enostavno izboljšati natančnost zaradi uporabe visoko natančne standardne površine, vendar ima stroge zahteve glede okoljskih pogojev (kot so temperatura, vibracije itd.). .) in se na splošno uporablja v laboratorijih ali oddelku za standardno meroslovje; Interferenčni mikroskop s skupno optično potjo ni občutljiv na zunanje motnje, kot so mehanske vibracije in temperaturne spremembe, in je primeren za spletni pregled v delavnici.
Poleg uvedbe novega principa fazno premikajoče se interference (PSI) na področju testiranja motenj so se pojavili novi testni principi, posodobljeni principi frekvenčne analize (FDA) in principi vertikalnega skeniranja (VSI). . V primerjavi z načelom fazno premikajoče se motnje lahko FDA in VSI odpravita dvoumnost faznih skokov in sta primerna za zahteve testiranja utorov in korakov na področju mikroelektronike in informacijske industrije optičnih diskov; v primerjavi s FDA in VSI ima prva metoda merjenja faze visoko stopnjo izkoriščenosti podatkov, visoko natančnost, lahko odpravi kromatsko aberacijo optičnega sistema interferometra itd., slednja ima poleg nizke izkoriščenosti podatkov naslednje pomanjkljivosti: (1) Ker na kontrast zlahka vpliva naključni šum, je naključna napaka včasih velika:; (2 ) kontrast je povezan s spektralno porazdelitvijo intenzitete vira bele svetlobe, zato so zahteve za stabilnost spektralne jakosti vira bele svetlobe relativno visoke.
(4) Sprememba vira svetlobe sprejme načelo interference bele svetlobe, ki temelji na enaki optični poti. V primerjavi z laserskim svetlobnim virom lahko svetlobni vir ladijske luči odpravi šum v interferenčnih robovih in se natančno osredotoči na izmerjeno površino ter lahko reši problem zamegljenih faznih prehodov. Primeren je za mikrooptiko in mikroelektroniko z velikim obsegom meritev in zahtevami glede testiranja z večjo natančnostjo.
