Uvod v karakteristike delovanja vrstičnih elektronskih mikroskopov
Uvod v karakteristike delovanja vrstičnih elektronskih mikroskopov
Obstajajo različne vrste vrstičnih elektronskih mikroskopov in različne vrste vrstičnih elektronskih mikroskopov se razlikujejo v učinkovitosti. Glede na vrsto elektronskega topa ga lahko razdelimo na tri vrste: elektronski top z emisijo polja, top z volframovo žico in lantanov heksaborid [5]. Med njimi lahko vrstične elektronske mikroskope z emisijo polja razdelimo na elektronske mikroskope z emisijo hladnega polja in elektronske mikroskope z emisijo vročega polja glede na zmogljivost svetlobnega vira. Emisiona vrstična elektronska mikroskopija s hladnim poljem ima visoke zahteve za vakuumske pogoje, nestabilen žarkovni tok, kratko življenjsko dobo oddajnika in potrebo po rednem čiščenju konice. Omejen je na eno opazovanje slike in ima omejen obseg uporabe; medtem ko vrstična elektronska mikroskopija z emisijami termičnega polja ne deluje le neprekinjeno. Ima dolg delovni čas in se lahko uporablja z različnimi dodatki za doseganje celovite analize. Na področju geologije ne potrebujemo le predhodnih morfoloških opazovanj vzorcev, temveč moramo kombinirati analizatorje za analizo drugih lastnosti vzorcev, zato je vrstična elektronska mikroskopija s toplotnim poljem bolj razširjena.
Vrstični elektronski mikroskop (SEM) je obsežen natančen instrument, ki se uporablja za analizo morfologije mikroregij visoke ločljivosti. Ima značilnosti velike globinske ostrine, visoke ločljivosti, intuitivnega slikanja, močnega tridimenzionalnega občutka, širokega obsega povečave in vzorec, ki ga je treba testirati, je mogoče vrteti in nagibati v tridimenzionalnem prostoru. Poleg tega ima prednosti bogatih vrst merljivih vzorcev, skoraj nobene poškodbe ali kontaminacije prvotnega vzorca in zmožnost hkratnega pridobivanja morfologije, strukture, sestave in kristalografskih informacij. Trenutno se vrstični elektronski mikroskopi pogosto uporabljajo v mikroskopskih raziskavah na področjih znanosti o življenju, fizike, kemije, pravosodja, znanosti o zemlji, znanosti o materialih in industrijske proizvodnje. Samo v znanostih o Zemlji vključuje kristalografijo, mineralogijo in nahajališča mineralov. , sedimentologija, geokemija, gemologija, mikropaleontologija, astronomska geologija, geologija nafte in plina, inženirska geologija in strukturna geologija itd.
Čeprav je vrstična elektronska mikroskopija vzhajajoča zvezda v družini mikroskopov, se zaradi številnih prednosti hitro razvija.
1. Ločljivost instrumenta je visoka. Skozi sekundarno elektronsko sliko lahko opazuje podrobnosti približno 6 nm na površini vzorca. Z uporabo elektronske pištole LaB6 ga je mogoče še izboljšati na 3 nm.
2 Povečava instrumenta ima širok razpon sprememb in jo je mogoče nenehno prilagajati. Zato lahko izberete različne velikosti vidnih polj za opazovanje glede na vaše potrebe. Hkrati lahko dobite tudi jasne slike visoke svetlosti pri veliki povečavi, ki jih je težko doseči s splošnimi transmisijskimi elektronskimi mikroskopi.
3. Globinska ostrina za opazovanje vzorca je velika, vidno polje je veliko, slika pa je polna tridimenzionalnosti. Neposredno je mogoče opazovati grobo površino z velikimi nihanji in neenakomerno sliko zloma kovine vzorca, kar daje ljudem občutek, da osebno obiščejo mikroskopski svet.
4. Priprava vzorca je preprosta. Dokler je vzorec bloka ali prahu rahlo obdelan ali neobdelan, ga je mogoče neposredno postaviti v vrstični elektronski mikroskop za opazovanje, tako da je bližje naravnemu stanju snovi.
5. Kakovost slike je mogoče učinkovito nadzorovati in izboljšati z elektronskimi metodami, kot je samodejno vzdrževanje svetlosti in kontrasta, korekcija kota nagiba vzorca, rotacija slike ali izboljšanje tolerance kontrasta slike z modulacijo Y, kot tudi svetlost in temnost vsakega del slike. Zmerno. Z uporabo naprave za dvojno povečavo ali izbirnika slik lahko na fluorescenčnem zaslonu hkrati opazujete slike z različnimi povečavami.
6 Izvesti je mogoče celovito analizo. Opremljen je z rentgenskim spektrometrom z razpršitvijo valovne dolžine (WDX) ali energijsko razpršenim rentgenskim spektrometrom (EDX), ima funkcijo elektronske sonde in lahko zaznava tudi odbite elektrone, rentgenske žarke, katodno fluorescenco, transmisijske elektrone in Auger oddaja vzorec. Elektronika itd. Razširjena uporaba vrstične elektronske mikroskopije na različne metode mikroskopske analize in analize mikropodročij kaže na vsestranskost vrstične elektronske mikroskopije. Poleg tega lahko med opazovanjem morfološke slike analizirate tudi izbrana mikroobmočja vzorca; z namestitvijo dodatka za držalo polprevodniškega vzorca lahko neposredno opazujete PN spoj in mikroskopske napake v tranzistorju ali integriranem vezju prek ojačevalnika slike z elektromotorno silo. Ker ima veliko elektronskih sond z vrstičnim elektronskim mikroskopom avtomatsko in polavtomatsko krmiljenje z elektronskimi računalniki, se je hitrost kvantitativne analize močno izboljšala.
