Uporaba infrardečega mikroskopa v mikro napravah v elektronski industriji
1. Smer uporabe: vloga infrardečega mikroskopa pri temperaturnem testiranju drobnih polprevodniških naprav
2. Predstavitev ozadja:
Z razvojem nanotehnologije se njena metoda miniaturizacije od zgoraj navzdol vedno bolj uporablja na področju polprevodniške tehnologije. Včasih smo tehnologijo IC imenovali "mikroelektronska" tehnologija, ker je velikost tranzistorjev na ravni mikronov (10-6 meter). Vendar se polprevodniška tehnologija zelo hitro razvija. Vsaki dve leti bo izboljšana generacija, velikost pa zmanjšana na polovico prvotne velikosti. To je znameniti Moorov zakon. Pred približno 15 leti so polprevodniki začeli vstopati v submikronsko dobo, ki je manjša od mikronske dobe, nato pa so šli globlje v submikronsko dobo, ki je bila veliko krajša od mikronske dobe. Do leta 2001 so bili tranzistorji celo manjši od 0,1 mikrona ali 100 nanometrov. Zato je obdobje nanoelektronike in večina prihodnjih IC-jev bo izdelana iz nanotehnologije.
3. Tehnične zahteve:
Trenutno je glavni način okvare elektronskih naprav toplotna okvara. Po statističnih podatkih 55 odstotkov okvar elektronskih naprav povzroči temperatura, ki presega določeno vrednost. Z višanjem temperature se stopnja okvar elektronskih naprav eksponentno poveča. Na splošno je delovna zanesljivost elektronskih komponent izjemno občutljiva na temperaturo in zanesljivost bo padla za 5 odstotkov vsakič, ko se temperatura naprave poveča za 1 stopinjo na ravni 70-80 stopinj. Zato je potrebno hitro in zanesljivo zaznavanje temperature naprave. Ker velikost polprevodniških naprav postaja vedno manjša, se postavljajo višje zahteve glede temperaturne in prostorske ločljivosti opreme za zaznavanje.
4. Toplotni zemljevid snemanja na kraju samem
